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產(chǎn)品資料
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日本富士電動蝶閥

產(chǎn)品名稱: 日本富士電動蝶閥
產(chǎn)品型號: MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
產(chǎn)品特點: 日本富士電動蝶閥
壽命長，價格低，性能高，可進行各種開閉操作的蝶閥。
壽命長一百萬次
價格低廉自動壓力控制可以低價進行。
高性能高性能伺服電機，伺服放大器，采用新的驅動機制
可以實現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級位置控制和自動壓力控制。
還可以通過閥門O形圈來支持擰緊余量O規(guī)格，從而實現(xiàn)小的電導。
它的小直徑為20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸的O形圈，可以將其*閉合。）

日本富士電動蝶閥 的詳細介紹

日本富士電動蝶閥

 

壽命長，價格低，性能高，可進行各種開閉操作的蝶閥。

  1. 壽命長一百萬次
  2. 價格低廉自動壓力控制可以低價進行。
  3. 高性能高性能伺服電機，伺服放大器，采用新的驅動機制
  4. 可以實現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級位置控制和自動壓力控制。
    還可以通過閥門O形圈來支持擰緊余量O規(guī)格，從而實現(xiàn)小的電導。
  5. 它的小直徑為20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸的O形圈，可以將其*閉合。）

特征

  • 低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是于傳導控制的電動蝶閥，沒有閥體O形圈。
  • 三菱電機制造的多功能伺服電動機用作閥體的驅動源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關閉或*打開。
  • 閥門的開口面積可以分多個階段進行更改，可用于多種用途，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣導度。
  • 可以使用計算機軟件或伺服放大器本身預先設置中間停止位置，多可以存儲13個位置。
  • 通過從PLC等主機系統(tǒng)發(fā)送信號，它將以良好的再現(xiàn)性停在設定位置。
  • 通過將可選的雙重自動壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結合，可以進行包括自動壓力控制在內(nèi)的各種控制。

MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格

法蘭類型JIS / ISO / CF / NW
泄漏量1 x 10 -9　Pa·m 3 / s以下
使用面積10 5　至10 -6　Pa
盤式密封沒有
軸封拜頓O型圈2個步驟
直徑20A-100A
電源規(guī)格主電源AC200V（額定電流1.5A）
控制電源AC200V（額定電流0.2A）
接口電源DC24V（大500mA）
控制方式交流伺服方式
氣體接觸材料SUS304

*本規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

本頁面的內(nèi)容

  • 系統(tǒng)配置
  • 附伺服放大器尺寸圖
  • 關于非標準電機支持
  • MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖
  • MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖
  • MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖
  • MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖

系統(tǒng)配置

系統(tǒng)配置

*除閥單元（閥體，伺服電機，伺服放大器）中包含的組件外，它是一個選件。
*有關可選項目，請參閱隨附的“多位置選項列表”。
*注）1.泄漏規(guī)格（無閥體密封機構）

附伺服放大器尺寸圖

附伺服放大器尺寸圖

關于非標準電機支持

關于非標準電機支持

我們還將向您咨詢有關更換適合您設備使用環(huán)境的電機（例如標準電機以外的伺服電機）的信息。

*也可以通過連接可選的雙壓力控制控制器用作APC。

MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖

MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸圖

單位：毫米
模型MBV-1SDⅡ-M4-ARJMBV-2SDⅡ-M4-ARJMBV-2.5SDⅡ-M4-ARJMBV-3SDⅡ-M4-ARJMBV-4SDⅡ-M4-ARJ
產(chǎn)品代碼10805□□10807□□10808□□10809□□10810□□
一種2020202020
乙34526881104
C5888105120145
d90120145160185
n—E4-φ104-φ104-φ124-φ128-φ12
F70100120135160
G33526780102
H222.5253278.5292.5318
?102.5117.5130137.5150
?4358.571.578 7891
大號90909090102
P407085100120
VV40V70V85V100V120

注1.以上是符合JIS B2290真空裝置法蘭附件維護法蘭的法蘭。

MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖

MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸圖

單位：毫米
模型MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJMBV-ISO50SDⅡ-M4-ARJMBV-ISO63SDⅡ-M4-ARJMBV-ISO80SDⅡ-M4-ARJMBV-ISO100SDⅡ-M4-ARJ
產(chǎn)品代碼10865□□10866□□10867□□10867□□10868□□
一種3030303030
乙34526881104
C100110130145165
d120120145160185
n—E4-φ94-φ94-φ98-φ98-φ9
F8090110125145
G二十三476276100
H253253278.5292.5318
?117.5117.5130137.5150
?58.558.571.578 7891
大號90909090102

注1.以上是符合ISO1609真空技術-法蘭尺寸的法蘭。

MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖

MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸圖

單位：毫米
模型MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJMBV-CF40SDⅡ-M4-ARJMBV-CF63SDⅡ-M4-ARJMBV-CF100SDⅡ-M4-ARJ
產(chǎn)品代碼10840□□10840□□10842□□10844□□
一種30303030
乙二十三3452104
C69.469.4113.5151.6
d8090120185
n—E6-M66-M68-M816-M8
F58.758.792.1130.2
G0二十三47100
H212.5222.5253318
?97.5102.5117.5150
?384358.591
大號909090102

注1.以上是符合ISO / TS3669-2真空技術的法蘭-耐用法蘭-第2部分：刀口法蘭的尺寸。
注2. CF40沒有檢漏槽。

MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸圖

單位：毫米
模型MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJMBV-NW40SDⅡ-M4-ARJMBV-NW50SDⅡ-M4-ARJMBV-NW63SDⅡ-M4-ARJMBV-NW80SDⅡ-M4-ARJMBV-NW100SDⅡ-M4-ARJ
產(chǎn)品代碼10822□□10824□□10825□□10826□□10827□□10828□□
一種404040406060
乙二十三34526881104
d40557587114134
G0036565584
H212.5222.5253278.5292.5318
?97.5102.5117.5130137.5150
?384358.571.578 7891
大號9090909090102

注1.對于NW25尺寸，可以使用可以*閉合的*閉合類型。
注意2.請使用我們的多夾鉗進行安裝。如果您使用我們公司以外的其他夾具，則根據(jù)夾具的形狀，可能未安裝閥門。

M4-ARJ通用選項

* MBV-ADⅡ-M4-ARJ / MBV-LDⅡ-M4-ARJ / MBV-SDⅡ-M4-ARJ通用選項設置伺服放大器上的位置并將閥閥體操作到任何位置。

  • 1. 1。ENC電纜（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）

    用于連接閥和伺服放大器的電纜。

    格式長（L）
    ENC電纜（負載側）2m_41235002m
    ENC電纜（負載側）5m_41235015m
    ENC電纜（負載側）10m_412350210m
      
    ENC電纜（非負載側）2m_41235052m
    ENC電纜（非負載側）5m_41235065m
    ENC電纜（非負載側）10m_412350710m

    注意1.（裝載抽屜/防裝載抽屜）

  • 2。MOT電源線（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）

    用于連接閥和伺服放大器的電纜。

    格式長（L）
    MOT電纜（負載側）2m_41235202m
    MOT電纜（負載側）5m_41235215m
    MOT電纜（負載側）10m_412352210m
      
    MOT電纜（非負載側）2m_41235252m
    MOT電纜（非負載側）5m_41235265m
    MOT電纜（非負載側）10m_412352710m

    *不是屏蔽電纜。

  • 3. 3。電磁制動電纜（負載抽屜/抗負載抽屜）（注1）

    帶有電磁制動器的伺服電機電纜。

    格式長（L）
    BL電纜（負載側）2m_41235402m
    BL電纜（負載側）5m_41235415m
    BL電纜（負載側）10m_412354210m
      
    BL電纜（非負載側）2m_41235452m
    BL電纜（非負載側）5m_41235465m
    BL電纜（非負載側）10m_412354710m

    *不是屏蔽電纜。

  • 4。-1 REMOTE I / FM電纜（CN1為50P）（注2）

    用于遠程輸入/輸出到伺服放大器的電纜。

    格式長（L）
    遠程I / FM電纜_4123340（1m）1m
    遠程I / FM電纜_4123341（2m）2m
    遠程I / FM電纜_4123342（3m）3m
    遠程I / FM電纜_4123343（4m）4m
    遠程I / FM電纜_4123344（5m）5m

  • 4。-2 REMOTE中繼端子臺I / FM電纜（CN1為50P），中繼端子臺（MR-TB50）（注2）

    繼電器電纜和端子塊，用于遠程輸入/輸出到伺服放大器。

    格式長（L）
    MR-J2M-CN1 TBL05M_41233500.5米
    MR-J2M-CN1 TBL1M_41233511m
    繼電器接線盒MR-TB50_4123352（50P） 

    伺服放大器連接器中繼端子連接器

    繼電器接線端子50P

  • 5，伺服支持軟件

    用于設置伺服放大器上位置的軟件。

    格式語言
    SW1 DNC-MRC2-J_4123560日文版
    SW1 DNC-MRC2-E_4123561英文版

  • 6。通訊電纜

    用于連接PC和伺服放大器的USB電纜。

    格式長（L）
    MR-J3USBCBL3M_41235623m

    伺服放大器mini-B連接器PC A連接器

注2）REMOTE I / FM電纜要求4-1或4-2。

 日本富士電動蝶閥

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